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MX61L半導體檢查顯微鏡———慧龍環(huán)科010-59483667
MX61L半導體檢查顯微鏡能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）
應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。MX61L半導體檢查顯微鏡切換物鏡時自動調(diào)節(jié)連動的亮度光圈等，實現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。
MX61L半導體檢查顯微鏡詳細參數(shù):
光學系統(tǒng)
UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正）
機身
觀察方法
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
反射/透射
照明裝置
機身一體型（明視場，暗視場＋1選件）
照明系統(tǒng)
反射照明
100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
透射照明
纖維光導
對焦單元
電動/手動
手動
行程
32 mm
分辨率/微調(diào)靈敏度
微調(diào)旋鈕轉動1周移動0.1 mm
大樣本高度
30 mm
物鏡轉換器
電動型
明視場微分干涉6孔 明暗視場微分干涉5孔 明暗視場微分干涉6孔 明暗視場微分干涉中心輸出5孔
手動式
-
載物臺
8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm
觀察筒
廣角視場（視場數(shù)22）
倒置
雙目/三目觀察筒
正像
三目觀察筒
超寬視場（視場數(shù)26.5）
傾斜三目觀察筒
附件單元
DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸
509（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合）
重量
40 kg（標準組合）
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